[양태훈기자] 어플라이드머티어리얼즈 코리아(대표 김용길, 이하 어플라이드)는 13일 플렉서블 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이의 대량생산에 필요한 신형 박막봉지(TFE) 플라즈마화학기상증착장비(PECVD) 'AKT-20K'와 'AKT-40K'를 출시한다고 발표했다.
두 장비는 OLED의 소자를 보호하는 박막 봉지 층을 증착하는데 활용, OLED 소자의 봉지 재료인 유리를 대체해 벤더블 및 커브드 디스플레이를 생산할 수 이점을 제공하는 게 특징이다.
더불어 OLED 소자의 취약점인 수분 및 산소의 침투율을 최소화하고, 확산방지막(Diffusion Barrier Film)을 제공해 플렉서블 OLED의 수명을 연장하는 이점을 제공한다.
예컨대 100도(℃) 이하의 저온에서 증착된 고성능의 필름이 OLED 재료가 산소 및 수분 등의 환경요소에 노출돼 손상되는 민감한 특성을 해결하는 것.
또 비전 정렬 기술을 통해 광학인쇄(photolithography) 및 식각 공정단계를 제거해 제조비용을 절감, 정밀한 마스크 위치 조정을 통한 정확한 증착이 가능하도록 지원한다.
브라이언 시에 어플라이드머티어리얼즈 디스플레이 사업부문의 부사장은 "크기, 해상도, 화질과 외관 디자인의 발전은 디스플레이 제조업체들이 새로운 플렉서블 제품을 생산하고 시장에 선보일 수 있는 좋은 기회를 제공한다"며, "AKT-20K TFE는 이미 OLED 디스플레이의 생산에 사용되고 있으며, 스크린의 모양을 변형시킬 수 있는 플렉서블 및 커브드 모바일 제품의 도입을 가속화 시키고 있다"고 전했다.
한편, 더욱 자세한 내용은 어플라이드머티어리얼즈 공식 홈페이지(www.appliedmaterials.com)에서 확인 가능하다.
양태훈기자 flame@inews24.com
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