[아이뉴스24 김문기기자] ASML은 올 3분기 매출 24억5천만유로(한화 약 3조2734억원)를 달성했다고 19일 밝혔다. 4분기에는 21일 유로를 달성할 전망이다.
피터 베닝크 ASML CEO는 ”Q3에 예상을 뛰어넘는 실적을 달상했다. 이러한 실적은 1대의 EUV가 실적으로 포함된 것과 ASML의 비지니스 포트폴리오의 모든제품군에서 보여준 좋은 실적 때문”이라고 밝혔다.
향후 전망에 대해서는 "4분기는 우리가 전망한 2016년 매출 대비 25%이상의 실적을 달성할 수 있을 것이라고 보인다"라며, "현재의 비지니스 환경이 긍정적이며, 이러한 호의적인 환경은 2018년에도 계속될 것이라고 생각한다.이미 ASML의 다양한 제품군에 대해 수주받은 57억 유로의 주문량이 이러한 판단을 뒷받침한다"고 강조했다.
DUV 리소그래피 부분에서는 TWINSCAN NXT:2000i 장비에 대한 첫 고객의 5나노 개발에 대한 얼리엑세스가 있었다. 신규 장비인 NXT:2000i는 얼라인먼트와 레벨 센서가 개선되어 EUV와 함꼐 생산이 가능한 웨이퍼상의 오버레이를 제공한다.
3분기에 100 번째 NXT:1980 장비를 선적했으며, 이느 2015년 3분기에 출시한 이후 2년만이다. 이는 NXT플랫폼 중에서 가장 빠른 증가이지만, 여전히 시장의 수요에는 모자란 상황이다.
홀리스틱 리소그래피 부분에서는 지난해 인수한 HMI와 같이 개발한 첫번째 ePfm5, Pattern Fidelity Metrology tool을 고객사에 전달했다. 이 장비는 고객에세 패턴 결함에 대해서 계측하는 부분을 지원한다.
EUV 리소그래피 부문에서는 고객사의 로드맵에 맞게 EUV 설비를 전달하고 있다. 3분기에 3대의 NXE:3400B 장비를 전달해, 2017년동안 6대를 고객사에 전달했다. 수주물량은 23대의 EUV가 있으며, 현재 ASML EUV 펠리클에 파워 캐파빌리티 테스트를 진행해 현재 디자인으로 250W의 EUV 소스 파워를 견딜 수 있다고 확인했다.
김문기기자 moon@inews24.com
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